压电材料是制作微电机的理想材料。这是因为压电材料仅加电场就能自己产生变形。压电性薄膜可以通过许多途径获得，方便地制成微小主动结构体。利用压电材料制作有三种方法：
1、利用压电材料本身的变形，在很小行程下(微米以下)工作；
2、应用杠杆原理或与弹性体结合成复合结构(如：双压电晶片、兰杰文振子)，扩大压电材料本身的变形(几百微米以下)；
3、将压电陶瓷产生的变形设法无限延长。这主要有三种类型，利用共振生成行波或驻波的超声波电机，组合成箱位结构的蠕动式电机，利用惯性停/滑原理的惯性式电机。
微电机中，压电式和电磁式输出功率较大，产业化前景较好。
鲁公网安备37030402001663号